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半导体与物理学院241903期华彩讲坛

主讲人:边历峰研究员/教授  复旦大学芯片与系统研究院

报告题目:半导体光电芯片研究及大科学装置NANO-X介绍

主讲人简介:边历峰,复旦大学芯片与系统前沿技术研究院研究员,博士生导师。2004年于中国科学院北京半导体研究所获得凝聚态物理专业理学博士学位;2004-2006年,在德国Paul-Drude固体电子学研究所从事博士后研究;2006-2021年,在中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所任职副研究员和研究员。主要研究方向包括新材料、新结构光电器件与自旋器件物理。主持国家重点研发计划、国家自然科学基金委面上项目、中德中心合作研究等项目10余项。在APL、JJAP、JCG、ACS Applied Nano Materials等学术期刊发表论文50余篇,获授权中国发明专利10余项。

报告内容简介:介绍近期关于光电芯片研究的一些内容及结果,重点介绍大科学装置NANO-X。纳米真空互联实验站(Nano-X)是世界首个按国家重大科技基础设施标准在建的集材料生长、器件加工、测试分析为一体的纳米领域大科学装置。纳米真空互联实验站通过超高真空管道把各功能设备相互连接,解决了传统超净间模式中难以解决的尘埃、表面氧化和吸附等污染问题。纳米真空互联实验站由具有若干综合功能的材料制备平台、器件工艺平台、测试分析平台组成。三大平台相互关联,互为支撑,从而可以在同一系统内进行:1)纳米材料的生长和各种性质的原位测量与分析;2)异质结的表面与界面特性分析;3)材料的位错和缺陷分析;4)表面态与能带结构分析;5)关键工艺机理研究;6)新工艺技术开发;7)纳米器件加工的精确控制;8)器件构效关系综合分析;9)器件特性及可靠性分析;10)器件的失效分析等。

时间:2024年10月16日 上午 10:00

地点:瑾瑜国际会议中心一层学术报告厅

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